安泰天龙自主研发技术突破助力我国半导体行

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央广网天津8月27日消息（记者陈庆滨苏平）新材料技术是一个国家科研实力的重要指标。在新材料中的难熔金属领域，安泰天龙钨钼科技有限公司立足自主创新，打破外国技术垄断，成功引领了国内行业发展。日前记者走访安泰天龙公司，了解企业的发展历程。

安泰天龙钨钼科技有限公司坐落在天津市宝坻区中关村科技园，是一家主要从事稀有金属材料和制品研制开发的高科技企业。据公司副总经理弓艳飞介绍，公司成立于年，是央企中国钢研科技集团安泰科技旗下专业从事难熔材料研究、制造和服务的业务单元，传承了中国钢研科技集团近六十年的市场和技术的积累以及北京天龙高速发展所积累的成果，以钨、钼、钽、铌、铼为主导产品，为全球高端客户提供先进金属材料、制品及解决方案。产品广泛应用于国防军工、航空航天、核工业、机械、电力、微电子与集成电路、新材料和新能源等新兴产业，以及电光源、消费电子、家用电器等领域，在国民经济当中有着重要的地位和作用。

安泰天龙的钨钼材料产品（央广网记者苏平摄）

我国是钨钼矿产大国，但并非钨钼强国。为了改变这种“大而不强”的态势，安泰天龙通过科研开发，自主创新攻克了多项技术难关，制造出钨钼高端精深加工产品，为我国在国际难熔金属精深加工领域争取到更多话语权。

目前，安泰天龙研发制造的热沉产品(铜钼合金制造出来的散热片)项目已经广泛应用于大功率散热设备、大规模集成电路产品，包括新能源汽车以及需要散热的设备中。公司的难熔金属材料及制品还应用于高端医疗器械领域，如CT、核磁共振等设备的核心部件，其中部分关键核心材料和部件取代进口，为我国数字化诊断和治疗等高端医疗装备的自主研发和生产提供了有力的支撑。

在安泰天龙一系列自主创新中，MOCVD加热器无疑是最具代表性的成果之一。

当下，LED照明已经走入寻常百姓家，不过可能很多人不知道的是，在制造LED照明产品过程中，需要一个高端装备MOCVD来生产LED芯片，但在十年前，我国缺乏制造这一高端装备的能力，只能从德国、美国进口。据介绍，MOCVD是一种利用有机金属分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。为了生长出多组分、大面积、薄层和超薄层化合物半导体材料，MOCVD设备除了要考虑系统密封性、流量、组分变换迅速等，最重要的是反应腔的温度控制。MOCVD腔体温度控制精度需达到±0.5℃或更高，高的温度均匀性也是产品良率的重要保证。因此，加热器成为MOCVD设备中最为重要的核心部件，这里就有难熔金属材料的广泛应用。

紧跟MOCVD的国产化战略布局，自年开始，安泰天龙与国内专业设备商合作开发量产型MOCVD设备。安泰天龙主要负责设计、制造MOCVD加热器，经过共同攻关，年6月，国产的MOCVD设备成功制造出蓝光和白光芯片，年开始量产，年全年终端用户装机量就达到台。

安泰天龙研发的MOCVD发热腔体（央广网发企业供图）

安泰天龙副总经理熊宁向记者介绍，目前，安泰天龙为整套加热器国内唯一供应商，已为国内多家MOCVD设备研发制造厂商及研究所提供整套加热器设计方案及产品；加热器尺寸从φmm~φmm范围内不等，涉及的加热器型号有K、、AM等多种型号。每套MOCVD加热器包含几十种材料、上千件零件，涉及到难熔金属包括钨、钼、铼、钨铼合金、钼合金等。目前安泰天龙MOCVD加热器组件已大批量应用于全球的在运行设备。

MOCVD加热器的研制及批产，在为安泰天龙创造利润的同时，也推动了国产设备的进步，为我国半导体行业转型升级贡献了力量。